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    各類電子行業凈化車間潔凈度要求

    2019/07/30 10:18
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    各類電子工業潔凈廠房內所生產的產品及其生產工藝各不相同,它們對生產環境包括空氣環境和直接與產品生產過程接觸的各類介質都有一定的要求。各類產品的品種不同、生產工藝不同,所要求無塵生產車間的空氣潔凈度等級也不相同。
     
    電子產品的種類繁多,隨著微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠的電子產品品種的增加,需要電子凈化車間中進行全過程生產或部分生產的電子產品主要有:各種半導體材料及其器件生產、集成電路生產、化合物半導體生產、光電子生產、薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor Liguid Crystal Display,簡稱TFT-LCD)生產、微硬盤驅動器(Hard Disk Driver,簡稱HDD)生產、等離子顯示器(Plasma Display Panel,簡稱PDP)生產、磁頭和磁帶生產、光導纖維生產、印制電路板等。
     
    生產環境的空氣潔凈度等級應根據生產工藝要求確定,下表以供參照(來源:GB 50472-2008 電子工業潔凈廠房設計規范)
     

    產品、工序

    潔凈度等級

    控制粒徑(μm)

    半導體材料

    拉單晶

    6-8

    0.5

    切、磨、拋

    5-7

    0.3-0.5

    清洗

    4-6

    0.3-0.5

    外延

    4-6

    0.3-0.5

    芯片制造

    氧化、擴散、清洗、

    刻蝕、薄膜、離子注入、CMP

    2-5

    0.1-0.5

    光刻

    1-5

    0.1-0.3

    檢測

    3-6

    0.2-0.5

    設備區

    6-8

    0.3-0.5

    封裝

    劃片、鍵合

    5-7

    0.3-0.5

    封裝

    6-8

    0.3-0.5

    TFT-LCD

    (液晶平板顯示器)

    陣列板(薄膜、光刻、刻蝕、剝離)

    2-5

    0.2-0.3

    成盒(涂復、摩擦、液晶注入、切割、磨邊)

    3-6

    0.2-0.3

    模塊

    4-6

    0.3-0.5

    彩膜板

    2-5

    0.2-0.3

    STN-LCD

    6-7(局部5級)

    0.3-0.5

    HDD(硬盤驅動器)

    制造區

    3-4

    0.1-0.3

    其他區

    6-7

    0.3-0.5

    PDP(等離子顯示屏)

    核心區

    6-7

    0.5

    支持區

    7-8

    0.5

    鋰電池

    干工藝

    6-7

    0.5

    其他區

    7-8

    0.5

    彩色顯像管

    涂屏、電子槍裝配、

    熒光粉

    6-7

    0.5

    錐石墨涂覆、蔭罩裝配

    8

    0.5

    表面處理

    5-7

    0.5

    電子儀器、微型計算機裝配

    8

    (0.5)

    高密磁帶制造

    6-8(局部5級)

    (0.5)

    印制版的照相、制版、干膜

    7-8

    (0.5)

    光導纖維

    預制棒

    6-7

    0.3-0.5

    拉絲

    5-7

    0.3-0.5

    光盤制造

    6-8

    0.3-0.5

    磁頭生產

    核心區

    5

    0.3

    清洗區

    6

    0.3

    片式陶瓷電容、片式電阻等制造

    絲印、流延

    8

    0.5

    聲表面波器件制造

    鍍膜、清洗、劃片、封帽

    6

    0.5

     

     

     

     

     

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