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    無塵車間等級劃分及等級標準【完整版】

    2018/09/12 14:26
    瀏覽量

    前言:無塵車間的發展與現代工業、尖端技術緊密的聯系在一起。目前在生物制藥、醫療衛生、食品日化、電子光學、能源、精密器械等行業運用已經相當的普遍且成熟。

     

    空氣潔凈度等級(air cleanliness class):潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。國內按空態、靜態、動態對無塵車間進行測試、驗收,符合《GB50073-2013 潔凈廠房設計規范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗收規范》。

     

    潔凈度和控制污染的持續穩定性,是檢驗無塵車間質量的核心標準,該標準根據區域環境、潔凈程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內區域行業標準。

     

    ISO14644-1國際標準空氣潔凈度等級劃分

    空氣潔凈度等級(N)

    大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(空氣粒子數個/立方米)

    0.1um

    0.2um

    0.3um

    0.5um

    1.0um

    5.0um

    ISO Class1

    10

    2

           

    ISO Class2

    100

    24

    10

    4

       

    ISO Class3

    1,000

    237

    102

    35

    8

     

    ISO Class4

    10,000

    2,370

    1,020

    352

    83

     

    ISO Class5

    100,000

    23,700

    10,200

    3,520

    832

    29

    ISO Class6

    1,000,000

    237,000

    102,000

    35,200

    8,320

    293

    ISO Class7

         

    352,000

    83,200

    2,930

    ISO Class8

         

    3,520,000

    832,000

    29,300

    ISO Class9

         

    35,200,000

    8,320,000

    293,000

    注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平

     

    GB50073-2013 國家標準空氣潔凈度等級

    空氣潔凈度等級(N)

    大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)

    0.1um

    0.2um

    0.3um

    0.5um

    1um

    5um

    1

    10

    2

           

    2

    100

    24

    10

    4

       

    3

    1000

    237

    102

    35

    8

     

    4(十級)

    10000

    2370

    1020

    352

    83

     

    5(百級)

    100000

    23700

    10200

    3520

    832

    29

    6(千級)

    1000000

    237000

    102000

    35200

    8320

    293

    7(萬級)

         

    352000

    83200

    2930

    8(十萬級)

         

    3520000

    832000

    29300

    9(一百萬級)

         

    35200000

    8320000

    293000

     

    中國GMP2010年修訂)新版GMP附錄1 無菌藥品.第三章.第九條……潔凈區各級別空氣懸浮粒子的標準規定如下

    潔凈度級別

    懸浮粒子數最大允許數/m3

     

    近似對應傳統潔凈度

    靜態

    動態

    0.5um

    0.5um

    0.5um

    0.5um

    A

    3520

    20

    3520

    20

    100

    B

    3520

    29

    352000

    2900

    100

    C

    352000

    2900

    3520000

    29000

    10,000

    D

    3520000

    29000

    不作規定

    不作規定

    100,000

     

    各國潔凈度等級近似對照表

     

    / M ≥0.5um

    ISO14644-1(1999)

    US209E(1992)

    US209D(1988)

    EECcGMP(1989)

    FRANCE

    AFNOR(1981)

    GERMANY

    VDI 2083

    JAPAN

    JAOA(1989)

    1

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    3.5

    2

    -

    -

    -

    -

    0

    2

    10.0

    -

    M1

    -

    -

    -

    -

    -

    35.3

    3

    M1.5

    1

    -

    -

    1

    3

    100

    -

    M2

    -

    -

    -

    -

    -

    353

    4

    M2.5

    10

    -

    -

    2

    4

    1,000

    -

    M3

    -

    -

    -

    -

    -

    3,530

    5

    M3.5

    100

    A+B

    4,000

    3

    5

    10,000

    -

    M4

    -

    -

    -

    -

    -

    35,300

    6

    M4.5

    1,000

    1,000

    -

    4

    6

    100,000

    -

    M5

    -

    -

    -

    -

    -

    353,000

    7

    M5.5

    10,000

    C

    400,000

    5

    7

    1,000,000

    -

    M6

    -

    -

    -

    -

    -

    3,530,000

    8

    M6.5

    100,000

    D

    4,000,000

    6

    8

    10,000,000

    -

    M7

    -

    -

    -

    -

    -

     

    無塵車間(潔凈室)等級說明

     

    使用者在開無塵室的等級給供貨商時,有以下幾個小技巧。

     

    首先是等級定義的模式如下:

    Class X (at Y μm )

    其中X是無塵室的等級,例如10010000等等,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等,可復選。意思就是使用者規定,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭,以下是幾個例子:

    Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

    Class 100(0.2μm , 0.5μm )

    Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

    Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100,1000,10000....),一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10,1.... ),一般要看多幾個粒徑。

     

    第二個技巧是規定無塵室的狀態,例如:

    Class X (at Y μm ),At-rest

    供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。

    第三個技巧是自訂微粒濃度上限,一般在As-built時無塵室都很干凈,微??刂颇芰y試不易,這時可以干脆把驗收上限壓低,例如:

    Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built

    Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built

    這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時,依然有足夠的微??刂颇芰?。

     

    半導體行業潔凈室案例圖集

     

    1、 黃光車間多建在百級潔凈區,千級潔凈區也有涉及

     

    半導體黃光無塵車間

     

    半導體黃光無塵室

     

    2、半導體潔凈室(高架地板)常應用于百級和千級區域

     

    半導體凈化車間高架地板

     

    半導體潔凈室高架地板

     

    3、 常規半導體潔凈室(潔凈區:萬級至十萬級)

     

    電子廠無塵車間

     

    電子廠凈化車間

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